森永光电申请碳化硅公用双面抛光机专利可实现

　　金融界2025年8月1日动静，国度学问产权局消息显示，浙江森永光电设备无限公司申请一项名为“一种基于高速高压CMP抛光手艺的碳化硅公用双面抛光机”的专利，公开号CN120395675A，申请日期为2025年06月。本发现公开了一种基于高速高压CMP抛光手艺的碳化硅公用双面抛光机，属于碳化硅用抛光手艺范畴，设置有用于支持的抛光机基座，且抛光机基座侧面安拆有节制箱；包罗：抛光液筒，安拆于所述抛光机基座上侧，且抛光机基座上侧安拆有抛光室，而且抛光室的上侧安拆有防尘室，同时抛光液筒设置有冷却轮回机构。该基于高速高压CMP抛光手艺的碳化硅公用双面抛光机，设置有扭转板拆卸的吸附座进行等角度设置，可实现从动上下料，无效地提拔碳化硅晶片抛光效率，满脚产线从动化的要求，并搭配成熟的机械手机构，能够完成产线从动化加工，并抛光件不发生台阶，且抛光时共同径历来回挪动，提高产物的概况精度。天眼查材料显示，浙江森永光电设备无限公司，成立于2011年，位于嘉兴市，是一家以处置计较机、通信和其他电子设备制制业为从的企业。企业注册本钱500万人平易近币。通过天眼查大数据阐发，参取招投标项目4次，财富线条。